在真空系統(tǒng)里可拆的密封連接件是真空法蘭，真空法蘭可以在反復(fù)拆裝后仍保持一定的密封性能，并可更換老化損壞的密封件。我們平常使用的真空法蘭形式主要包括以下6種。

橡膠密封真空法蘭

普通橡膠密封真空法蘭廣泛用于高、中、低真空金屬系統(tǒng)中。如果用于超高真空系統(tǒng)，則需要用到另外形式的橡膠密封法蘭。

氟橡膠超高真空法蘭

氟橡膠超高真空法蘭，顧名思義可用于超高真空系統(tǒng)，它采用氟橡膠密封圈，與導(dǎo)管需要采用雙面焊接，并精加工，減少各類(lèi)缺陷。 3雙重橡膠密封法蘭

雙重橡膠密封法蘭主要用于避免橡膠材料的出氣和滲漏影響，以實(shí)現(xiàn)超高真空的獲得。通過(guò)中間冷卻槽冷凍橡膠或中間抽真空來(lái)達(dá)到降低橡膠出氣和減少滲漏的目的。

真空快卸法蘭

真空快卸法蘭主要用于高、中、低真空管路，又分夾緊型和擰緊型，通常用O型橡膠密封圈密封。

卡鉗真空法蘭

卡鉗真空法蘭同樣用于高、中、低真空的管路連接，形式上有卡鉗螺釘連接、卡鉗墊塊連接及卡鉗螺栓連接。

金屬密封法蘭

金屬密封法蘭一般用于壓力低于10-7Pa的超高真空系統(tǒng)，要求密封材料耐200℃以上的高溫烘烤。常用的密封材料有鋁、銅、金等。