真空法蘭是一種用于超高真空的法蘭連接，這是一種可以承受高溫烘烤的金屬靜態(tài)密封件。

法蘭是真空系統(tǒng)中使用的一種快速釋放法蘭。它由以下組件組成：兩個(gè)對(duì)稱分布的KF法蘭，O形圈，對(duì)中支架和夾具。無需使用其他工具。只需用手?jǐn)Q緊碟形螺母即可松開或擰緊連接。

真空法蘭的制造標(biāo)準(zhǔn)包括：DIN28404、ISO1609

需要10-8 mbar的高真空度

法蘭密封膠通常是Viton，山毛櫸，硅樹脂，EPDM，鋁線等。

法蘭通常是304、316不銹鋼等。

ISO-K真空接頭通常由法蘭制成。法蘭爪（夾鉗），密封圈（O形圈），定心環(huán)（定心環(huán)）。

ISO-F真空接頭通常由一個(gè)法蘭，一個(gè)密封圈（O形圈）和一個(gè)定心環(huán)（定心環(huán)）組成。與ISO-K的不同之處在于，法蘭是用螺栓牢固固定的。