真空閥門及其應(yīng)用領(lǐng)域
2023-05-06
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真空閥門是指在真空體系中起控制和調(diào)節(jié)真空度的作用的閥門。
由于真空系統(tǒng)對密封性要求較高,因此真空閥門的制造和維護(hù)都需要更加嚴(yán)格、精細(xì)的技術(shù)。目前市面上常見的真空閥門有多種分類方式,如根據(jù)工作原理可分為截止閥、調(diào)節(jié)閥等;根據(jù)結(jié)構(gòu)形式可分為直通式、角通式、三通式等。
真空閥門廣泛應(yīng)用于各種高純度氣體、流體處理等場景,例如: 電子信息:可用于半導(dǎo)體刻蝕機(jī)、光刻機(jī)、涂覆機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備等,保證生產(chǎn)設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行。
航天航天:可以用于高空環(huán)境下的氦氣回收、推進(jìn)器排氣、燃料供給等關(guān)鍵部位。 生物醫(yī)藥:可用于癌癥治療、DNA檢測、超聲成像儀等先進(jìn)醫(yī)療設(shè)備中,確保設(shè)備操作精度,有效地提升醫(yī)療治療效果。 化工能源:可應(yīng)用于合成氣、甲醇等化工原料生產(chǎn)、油氣開采和處理等場景中。 實(shí)驗(yàn)研究:實(shí)驗(yàn)室設(shè)計的各種高真空室、真空艙等裝置中,確保實(shí)驗(yàn)環(huán)境的穩(wěn)定、精度和靈敏度。
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